真空泵的用途及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的♈真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力達到另一抽🏃🏻氣系統開⭐始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維持在其.高許🔆可♉的前🈲級壓力以下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級😄泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低㊙️真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量或降低前級泵⭐容量要求的真🐕空泵🧑🏾‍🤝‍🧑🏼(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空🔅幹❓燥🥰、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工🏃藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬☁️、真⛹🏻‍♀️空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵☂️與水環真空泵的使用工藝基本相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備🐪冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于🙇‍♀️真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用的量⚽大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結、真空釺焊、真💋空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶🏃‍♂️煉等工藝。絕大多數✨羅茨🐕泵都不能用于直排大氣♉，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工☎️業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉♋、真空提😘純、真👨‍❤️‍👨空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件👨‍❤️‍👨、宇宙空間模拟🔆、加速器真空系統等工藝中使♍用。它适合于抽取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的📐真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化💁工行業等各種工藝🈲中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀🌈器、表🛀面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規💰模集成電路、表面物理、表面化學、熱核物理、等離子體物理、超🙇‍♀️導技💜術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化🔴學💃、等離子體物理、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航⚽技🏃🏻術等領✊域✊中。